| 강좌명(코드) | 진공 및 플라즈마 응용 기술 접수마감 | ||
|---|---|---|---|
| 강좌분류 | 응용기술 | ||
| 강좌장 | 정진욱 | ||
| 강사명 | 성대진, 엄환섭, 정진욱, 김정형 | ||
| 수강금액 | 200000 | ||
| 고용보험 | 비해당 | ||
| 모집정원 | 20 | ||
| 교육목표 | 반도체, 디스플레이 공정에 기초와 핵심 요소 기술인 진공 기술과 플라즈마의 기초 원리와 응용 기술을 습득 | ||
| 교육난이도 | 1 | ||
| 기대효과 |
1. 진공 기초 원리 이해 및 습득으로 현장 응용 함양 2. 방전 플라즈마에 대한 이해로 장비 제조 및 설계 능력 함양 |
||
| 접수마감 | 2008-06-04 | ||
| 강좌 시작일 | 2008-06-18 | 강좌 종료일 | 2008-06-20 |
| 강의시간 | 09:00 ~ 18:00 | ||
| 강좌위치 | 한양대학교 한양종합기술연구원(HIT) 310호 | ||
| 상세정보 |
안녕하세요?
HCEM (전기기기산업 인력양성센터) 운영자 입니다. 2008년 6월 18일 - 6월 20일(3일간) [진공 및 플라즈마 응용 기술] 강좌를 본 센터에서 개최하오니 많은 관심과 참여를 부탁드립니다. 자세한 사항은 아래와 같습니다. --------------------------- 아 래 ----------------------------- ■ 교육내용 및 강사진 : ※ 6. 18(수) : 성대진(한국표준과학연구원) 1. 진공 기초 및 응용 기술 - 진공이란? - 진공도, 진공 배기기술(Pumping speed, 압력, 배기 시간) - 진공 응용 기술 2. 진공 시스템 및 leak detection 기술 - 압력 제어 - Pump, gauge, MFC - 진공 sealing및 Leak detection - 파티클 측정 및 제어 ※ 6. 19(목) 오전 : 엄환섭(아주대학교) 오후 : 정진욱(한양대학교) 1. 방전 플라즈마 기초 - 플라즈마란? - 플라즈마 기초 개념: 밀도, 온도, 쉬스, 디바이 차폐 - 플라즈마 화학 반응 - 충돌, 이온화, 해리, 표면 반응 - 플라즈마 응용 분야 소개 2. 플라즈마 소스 기초 - RF 기술 - 임피던스 매칭, RF 시스템 - 플라즈마 소스 종류 - 플라즈마 소스 물성 ※ 6. 20(금) 오전 : 김정형(한국표준과학연구원) 오후 : 엄환섭(아주대학교) 1. 플라즈마 진단 기술 - 플라즈마 진단 기초 - 전기적 방법 - 광학적 방법 2. 플라즈마 응용 - 반도체 및 디스플레이 응용 공정 - Etching, CVD, Cleaning - 에너지 및 환경 응용 기술 ■ 수 강 료 : 20만원 (※ 단, 정회원은 50% 할인 ※) ■ 결제계좌 : 신한 은행 100-018-723560 [예금주 : 이주(전기기기인력양성센터)] ■ 교 재 : 강의교재 무료제공 (지식경제부 지원, 센터 부담) ■ 신청방법 : 하단 수강신청 아이콘 클릭 ■ 교육 선발자는 교육 시작 2주 전에 홈페이지 선발자 공고란에 발표함과 동시에 개인 메일로 안내 메일이 발송됩니다. (※ 조기 마감 시 더 일찍 발송될 수도 있음) ■ 문의사항 > Tel : 02-2220-0638 , 02-2296-0638 > Fax : 02-2281-0638 |
||
| 38명의 인원이 신청하셨습니다. 모집인원이 마감되었습니다. | |||
