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강좌명(코드) 진공 및 플라즈마 응용 기술 마감
강좌분류 응용기술
강좌장 정진욱
강사명 성대진, 엄환섭, 정진욱, 김정형
수강금액 200000
고용보험 비해당
모집정원 20
교육목표 반도체, 디스플레이 공정에 기초와 핵심 요소 기술인 진공 기술과 플라즈마의 기초 원리와 응용 기술을 습득
교육난이도 1
기대효과 1. 진공 기초 원리 이해 및 습득으로 현장 응용 함양
2. 방전 플라즈마에 대한 이해로 장비 제조 및 설계 능력 함양
접수마감 2008-06-04
강좌 시작일 2008-06-18 강좌 종료일 2008-06-20
강의시간 09:00 ~ 18:00
강좌위치 한양대학교 한양종합기술연구원(HIT) 310호
상세정보 안녕하세요?
HCEM (전기기기산업 인력양성센터) 운영자 입니다.

2008년 6월 18일 - 6월 20일(3일간) [진공 및 플라즈마 응용 기술] 강좌를 본 센터에서 개최하오니 많은 관심과 참여를 부탁드립니다. 자세한 사항은 아래와 같습니다.

--------------------------- 아  래 -----------------------------

■ 교육내용 및 강사진 :

※ 6. 18(수) : 성대진(한국표준과학연구원)
 
  1. 진공 기초 및 응용 기술
    - 진공이란?
    - 진공도, 진공 배기기술(Pumping speed, 압력, 배기 시간)
    - 진공 응용 기술
  2. 진공 시스템 및 leak detection 기술
    - 압력 제어
    - Pump, gauge, MFC
    - 진공 sealing및 Leak detection
    - 파티클 측정 및 제어

※ 6. 19(목)
  오전 : 엄환섭(아주대학교)
  오후 : 정진욱(한양대학교)

  1. 방전 플라즈마 기초
    - 플라즈마란?
    - 플라즈마 기초 개념: 밀도, 온도, 쉬스, 디바이 차폐
    - 플라즈마 화학 반응 - 충돌, 이온화, 해리, 표면 반응
    - 플라즈마 응용 분야 소개
  2. 플라즈마 소스 기초
    - RF 기술 - 임피던스 매칭, RF 시스템
    - 플라즈마 소스 종류
    - 플라즈마 소스 물성

※ 6. 20(금)
  오전 : 김정형(한국표준과학연구원)
  오후 : 엄환섭(아주대학교)

  1. 플라즈마 진단 기술
    - 플라즈마 진단 기초
    - 전기적 방법
    - 광학적 방법
  2. 플라즈마 응용
    - 반도체 및 디스플레이 응용 공정
    - Etching, CVD, Cleaning
    - 에너지 및 환경 응용 기술

■ 수 강 료 : 20만원 (※ 단, 정회원은 50% 할인 ※)

■ 결제계좌 : 신한 은행 100-018-723560
              [예금주 : 이주(전기기기인력양성센터)]

■ 교    재 : 강의교재 무료제공 (지식경제부 지원, 센터 부담)

■ 신청방법 : 하단 수강신청 아이콘 클릭

■ 교육 선발자는 교육 시작 2주 전에 홈페이지 선발자 공고란에
    발표함과 동시에 개인 메일로 안내 메일이 발송됩니다.
    (※ 조기 마감 시 더 일찍 발송될 수도 있음)

■ 문의사항
> Tel  : 02-2220-0638 , 02-2296-0638
> Fax  : 02-2281-0638 
38명의 인원이 신청하셨습니다. 모집인원이 마감되었습니다.